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電容薄膜真空計(jì) 屬?gòu)椥栽婵沼?jì)，彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個(gè)小室，即參考?jí)簭?qiáng)室和測(cè)量室。測(cè)量低壓強(qiáng) (P<100帕)時(shí)，參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測(cè)量室壓強(qiáng)不同時(shí)，薄膜變形的程度也不同。在測(cè)量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應(yīng)改變，通過(guò)電容電橋可測(cè)量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。為了防止薄膜發(fā)生蠕變，通常采用零位法測(cè)量，即在固定電極...

近幾年來(lái)，電容式薄膜真空計(jì)取得了重大突破，新型的雙電容式薄膜真空計(jì)的問(wèn)世，提升了該類真空計(jì)的精度，擴(kuò)展了測(cè)量范圍，使之測(cè)量下限達(dá)到10-3Pa。現(xiàn)以兩種雙電容式薄膜真空計(jì)的結(jié)構(gòu)為例介紹電容式薄膜真空計(jì)的最新進(jìn)展。 第一種是差動(dòng)式雙電容薄膜真空計(jì) 如下圖所示的新式雙電容式薄膜真空規(guī)是一類差動(dòng)式結(jié)構(gòu)。在彈力膜片3的兩側(cè)對(duì)稱裝有固定電極1和2，分別為形成靜態(tài)電容C01和C02。彈力膜片3將規(guī)管分隔成...

薄膜規(guī)真空計(jì)是一種常用的高精度真空計(jì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。薄膜規(guī)真空計(jì)的校準(zhǔn)是保證其測(cè)量準(zhǔn)確性的關(guān)鍵步驟。以下是一種薄膜規(guī)真空計(jì)的校準(zhǔn)方法及相關(guān)設(shè)備與流程的介紹： 校準(zhǔn)設(shè)備：薄膜規(guī)真空計(jì)校準(zhǔn)設(shè)備通常包括標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)、校準(zhǔn)室、真空泵、氣瓶、壓力控制器等。 校準(zhǔn)流程： ...