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電容薄膜真空計(jì)是一種直接測(cè)量式的、全壓型的真空計(jì)。 電容薄膜真空計(jì)原理是根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化而制成的真空計(jì)，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測(cè)量儀器兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法，具有較高的測(cè)量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。 ...

皮拉尼真空計(jì)是一種熱傳導(dǎo)式真空計(jì)，屬于直接測(cè)量式、全壓型真空計(jì)。 皮拉尼真空計(jì)原理是加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度，由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化，熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。 皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以最大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命；兩種原理的規(guī)管全過程都工作；mb...